تېخنىكىلىق پارامېتىرلار:
| بۇيۇم | پارامېتىر |
| سىناق دائىرىسى | 0.01~6500(cc/㎡.24h) |
| ئېنىقلىق نىسبىتى | 0.001 |
| ئۆتكۈزۈشچانلىق يۈزى كۆلىمى | 50 سېنت (قالغانلىرى خاسلاشتۇرۇلغان بولۇشى كېرەك) |
| مىكرو يادرو دىئامېتىرىنى ئۆلچەش | 108*108mm |
| ئۈلگە قېلىنلىقى | <3 مىللىمېتىر (قېلىنراق قوشۇمچە زاپچاسلارنى قوشۇشقا توغرا كېلىدۇ) |
| ئۈلگە سانى | 1 |
| سىناق ھالىتى | مۇستەقىل سېنزور |
| تېمپېراتۇرا دائىرىسى | 15℃ ~ 55℃ (تېمپېراتۇرا كونترول ئۈسكۈنىسى ئايرىم سېتىۋالىلىدۇ) |
| تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش توغرىلىقى | ±0.1℃ |
| توشۇغۇچى گاز | 99.999% يۇقىرى ساپلىقتىكى ئازوت (ھاۋا مەنبەسىدىن پايدىلىنىدىغان) |
| توشۇغۇچى گاز ئېقىمى | 0~100 مىللىلىتىر/مىنۇت |
| ھاۋا مەنبەسىنىڭ بېسىمى | ≥0.2MPa |
| ئىنتېرفېيسنىڭ چوڭلۇقى | 1/8 دىيۇملۇق مېتال تۇرۇبا |
| ئۆلچەملىرى | 740mm (ئۇزۇنلۇق) × 415 mm (كەڭلىك) × 430mm (ئېگىزلىك) |
| توك بېسىمى | AC 220V 50Hz |
| ساپ ئېغىرلىقى | 50 كىلوگرام |